一般可以通过刻蚀速率、选择比、方向性或各向异性度等参数来评价刻蚀工艺。其中,方向性或各向异性度是掩模图形中暴露位置下方的衬底材料在不同方向上刻蚀速率的比。下面的图是不同方向性的刻蚀所形成的刻蚀剖面示意图。请问图中的(a)是()刻蚀?     

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    一般可以通过刻蚀速率、选择比、方向性或各向异性度等参数来评价刻蚀工艺。其中,方向性或各向异性度是掩模图形中暴露位置下方的衬底材料在不同方向上刻蚀速率的比。下面的图是不同方向性的刻蚀所形成的刻蚀剖面示意图。请问图中的(a)是()刻蚀?
        一般可以通过刻蚀速率、选择比、方向性或各向异性度等参数来评价刻蚀工艺。其中,方向性或各向异性度是掩模图形中暴露位置下方的衬底材料在不同方向上刻蚀速率的比。下面的图是不同方向性的刻蚀所形成的刻蚀剖面示意图。请问图中的(a)是()刻蚀?        
若刻蚀在各个方向上刻蚀速率相同,则为各向同性刻蚀。
若在某一方向刻蚀速率最大,则为各向异性刻蚀
若在垂直掩膜方向上刻蚀速率最大,而在平行掩膜方向上不发生刻蚀(刻蚀速率为0),即完全各向异性刻蚀

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以上就是关于问题    一般可以通过刻蚀速率、选择比、方向性或各向异性度等参数来评价刻蚀工艺。其中,方向性或各向异性度是掩模图形中暴露位置下方的衬底材料在不同方向上刻蚀速率的比。下面的图是不同方向性的刻蚀所形成的刻蚀剖面示意图。请问图中的(a)是()刻蚀?     的答案

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